擴(kuò)散硅壓力變送器分普通和智能型兩種,廣泛應(yīng)用于石油、化工、鋼鐵、電力、建材、紡織、制藥、食品、氣體、科學(xué)實(shí)驗(yàn)等各個領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)對各工藝點(diǎn)壓力的計(jì)量、監(jiān)視和控制。
擴(kuò)散硅壓力變送器工作原理:
擴(kuò)散硅壓力變送器通過壓力傳感器把壓力信號變?yōu)殡娦盘枺儆汕爸梅糯笃靼汛穗娦盘柗糯鬄V波,送往CPU的A/D 轉(zhuǎn)換模塊進(jìn)行模擬量到數(shù)字量的變換,后由CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理并顯示及PWM輸出。原理框圖如下:
被側(cè)介質(zhì)--->傳感器--->電子線路--->輸出信號
被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的陶瓷/擴(kuò)散硅膜片/上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移,正常工作狀態(tài)下,膜片最大位移不大于0.025毫米,電子線路檢測這一位移量后,即把這一位移量轉(zhuǎn)換成對應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)測量信號。超壓時膜片直接貼到堅(jiān)固的陶瓷基體/擴(kuò)散硅上,由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米,因此過壓時膜片的最大位移只能是0.1毫米,所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會產(chǎn)生過大變形,該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高可靠性。
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